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　　昆山基侑电子科技有限公司成立于2011年, 占地面积3000㎡，员工数35人，结合国内外各专业行业超十年技术优秀人员,长期专研于湿法制程设备技术,开发最优化之技术,开拓领先最具优势之设计生产理念, 量身订制最符合用户需求之湿法制......[查看更多?]

昆山基侑电子科技有限公司

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传真: 0512-57661551

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地址: 昆山市黄浦江北路333号

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化学药品供应系统

化学供应系统

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光罩/光刻版清洗机Mask Cleaner

光罩清洗机

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<p style="line-height: 2em;"><span style="font-size: 14px;">设备应用9imch以下光刻版尺寸清洗制程；<br/>触控人机搭配PLC的软件控制，对各制程步骤进行参数控制；<br/>使用无刷式马达控制系统，转速最高可达3000rpm，转速精度2rpm；<br/>化学品摆臂清洗系统；<br/>HVS摆臂清洗系统；<br/>DI Water正/背面清洗系统；<br/>高转速旋干系统;</span></p>
晶圆旋干机Spin Rinse Dryer

晶圆旋干机

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<p style="line-height: 2em;"><span style="font-size: 14px;">设备应用8imch以下晶圆尺寸旋干制程；<br/>触控人机搭配PLC的软件控制对旋干步骤进行程序化控制；<br/>使用无刷式马达控制系统，转速最高可达3000rpm，振动值控制350um以下；<br/>DI Water清洗辅助系统；<br/>Hot N2干燥辅助系统</span></p>
半自动有机溶剂清洗机

半自动有机溶剂清洗机

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<p style="line-height: 2em;"><span style="font-size: 14px;">前后槽位布局模块设计，一套模块由2个制程槽位结合</span></p><p><br/></p><p style="line-height: 2em;"><span style="font-size: 14px;">机台材质为不锈钢镜面钣金,全罩防护式焊接组装。</span></p><p><br/></p><p style="line-height: 2em;"><span style="font-size: 14px;">设备应用湿法制程有机溶剂清洗，触控人机或PC界面搭配PLC的软件控制，由机械手臂180度旋转设计执行槽位间的晶圆输送，依制程需求或场地需求，配置多款制程槽位模块，提高产能输出，生产流程更有效率管控，各种安全防护标准设计，针对设备与人员的各种危险隐忧提高保护措施。</span></p><p><br/></p>

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